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鹏芯微取得半导体清洁装置及半导体生产设备专利，可对静电吸盘进行吹扫清洁

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2025-12-03 19:08:55

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国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司取得一项名为“半导体清洁装置及半导体生产设备”的专利，授权公告号CN223603045U，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本公开涉及一种半导体清洁装置及半导体生产设备，其中，半导体清洁装置用于对静电吸盘(10)进行吹扫清洁，所述半导体清洁装置包括：支架组件(1)，连接于所述静电吸盘(10)上方的安装平台(101)；和喷气组件(2)，连接于所述支架组件(1)，所述喷气组件(2)与所述静电吸盘(10)沿第一方向(z)间隔设置，所述喷气组件(2)和所述静电吸盘(10)可相对移动，所述喷气组件(2)上设有至少一个喷气口，所述喷气口朝向于所述静电吸盘(10)，所述喷气组件(2)被配置为可选择地向所述静电吸盘(10)喷吹气体。

天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息76条，此外企业还拥有行政许可215个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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