晶越半导体申请一种导流装置及化学气相沉积设备专利,促进半导体晶体尤其是大尺寸晶体生长的均匀性
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2025-12-02 14:10:32
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国家知识产权局信息显示,浙江晶越半导体有限公司申请一项名为“一种导流装置及化学气相沉积设备”的专利,公开号CN121023636A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明属于碳化硅晶体生长技术领域,具体涉及化学气相沉积设备的结构优化设计。一种导流装置,安装于密闭的沉积腔体内;所述导流装置包括转动结构和设置在所述转动结构下端的混匀结构;所述转动结构包括转动轴,安装于所述转动轴上、相互平行且呈上下分布的上旋转臂和下旋转臂;所述混匀结构具有气体通道。本发明通过结构的改进,以期于优化气相热解物质分布均匀性,促进半导体晶体尤其是大尺寸晶体生长的均匀性。

天眼查资料显示,浙江晶越半导体有限公司,成立于2020年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20396.6571万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江晶越半导体有限公司参与招投标项目9次,财产线索方面有商标信息47条,专利信息45条,此外企业还拥有行政许可7个。

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来源:市场资讯

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