奥尼特伦传感器申请用于MEMS结构精确偏移/部署的锁定机构专利，可在微机电系统中精确定位可移动结构
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2025-11-29 09:07:40
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国家知识产权局信息显示，奥尼特伦传感器股份有限公司申请一项名为“用于MEMS结构的精确偏移/部署的锁定机构”的专利，公开号CN121039049A，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，一种用于在微机电系统(MEMS)中精确定位可移动结构的系统和方法。该系统包括衬底和支撑于所述衬底的可移动的器件结构。所述器件结构可从初始位置移动到与所述衬底成预定偏移角度的部署位置。可移动的锚定结构支撑于所述衬底靠近所述器件结构。当所述器件结构移动到所述部署位置时，所述锚定结构锁定到所述器件结构。
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来源：市场资讯
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