精测电子:北京精测半导体未采用Ar和F₂混合气体放电方案
创始人
2025-11-27 18:08:33
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证券之星消息,精测电子(300567)11月27日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:董秘您好,请问子公司北京精测半导体研发的准分子激光器,是否采用 Ar (氩) 和 F₂(氟气) 混合气体放电方案产生 193nm 深紫外激光?

精测电子回复:您好!北京精测半导体目前研发的准分子激光器未采用该技术路线。感谢您对公司的关注,谢谢!

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