应用材料以色列申请感测电路补偿专利，能透过应用基于像素电路增益函数的补偿函数处理检测信号
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2025-11-27 11:19:36
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国家知识产权局信息显示，应用材料以色列公司申请一项名为“感测电路补偿”的专利，公开号CN121013007A，申请日期为2025年5月。专利摘要显示，提供一种检查系统，包括多个像素电路、读出电路和处理电路。这些多个像素电路被配置为生成检测信号。读出电路被配置为读取检测信号。处理电路被配置为透过应用一或多个补偿函数来处理检测信号。一或多个补偿函数是根据像素电路增益函数来确定的。对于每个像素电路，像素电路增益函数包括一组像素电路相关值的集合，所述集合包括一组位于像素电路动态范围边界区域内的边界区域像素电路相关值的子集。边界区域包括所述像素电路动态范围的第一部分与所述像素电路动态范围的第二部分之间的边界。
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