晶合集成申请背照式图像传感结构、传感器及制备方法专利,提高图像传感器性能
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2025-11-27 11:17:28
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国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“背照式图像传感结构、传感器及制备方法”的专利,公开号CN 121013431 A,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本发明公开了背照式图像传感结构、传感器及制备方法,属于半导体领域,本发明在对衬底背面减薄后通过沉积工艺形成了层叠光敏结构,在层叠光敏结构制备出深沟槽隔离结构后制备第一段金属格栅,然后通过注入VA族元素的离子,形成倾斜的加强掺杂带;之后制备第二段金属格栅得到完整的金属格栅,得到背照式图像传感结构,之后进行活化、制备滤光层等工艺得到完整的背照式图像传感器;本发明通过形成层叠光敏结构和加强掺杂带相结合,意想不到的是在解决掺杂损伤衬底同时大幅度减少了串扰效应,提高了图像传感器的性能。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目632次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1433条,此外企业还拥有行政许可22个。

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来源:市场资讯

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