新攀半导体取得半导体加工清洗装置专利,可降低用户清洗半导体的成本投入
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2025-11-25 21:12:55
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国家知识产权局信息显示,上海新攀半导体科技有限公司取得一项名为“一种半导体加工的清洗装置”的专利,授权公告号CN 223587894 U,申请日期为2024年12月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种半导体加工的清洗装置,包括清洗装置主体和过滤机构;清洗装置主体侧壁连接有排液管和补充管,补充管设于排液管上侧;过滤机构设于清洗装置主体一侧,过滤机构包括过滤箱,过滤箱上连接有连通管,连通管与排液管相连,过滤箱内安装有过滤帘,过滤帘的下侧分别设有第一倾斜板和第二倾斜板,第一倾斜板与第二倾斜板相互错位,第一倾斜板和第二倾斜板最低处均设有漏孔。本实用新型可以对清洗液进行过滤处理,以去除清洗液中的金属以及颗粒物,使得清洗液能够持续清洗半导体,进而可以降低用户更换清洗液的频率,不仅可以提高清洗液的利用率,而且可以降低用户清洗半导体的成本投入。

天眼查资料显示,上海新攀半导体科技有限公司,成立于2005年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新攀半导体科技有限公司专利信息24条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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