微纳智感光电申请取图控制方法、装置、设备、存储介质及产品专利,提升拍摄的缺陷图像的图像质量
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2025-11-25 20:37:26
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国家知识产权局信息显示,杭州微纳智感光电科技有限公司申请一项名为“取图控制方法、装置、设备、存储介质及产品”的专利,公开号CN 121007906 A,申请日期为2025年10月。专利摘要显示,本申请公开了一种取图控制方法、装置、设备、存储介质及产品,涉及晶圆取图技术领域,所述取图控制方法包括:通过晶圆传送叉,将已在晶圆寻边器处完成中心对准的待取图晶圆转移至缺陷检测平台;在不同的目标光场下,通过预设视觉范围的不同类型的相机,在所述缺陷检测平台遍历预设坐标依次进行拍摄,得到缺陷图像,其中,所述目标光场包括明场、暗场以及PL场,所述缺陷图像包括表面缺陷特征、划伤特征以及生长缺陷特征。本申请不仅会拍摄到晶圆表面缺陷和晶圆深层的生长缺陷,还会拍摄到划伤特征,可以覆盖较为全面的缺陷特征,提升拍摄的缺陷图像的图像质量。

天眼查资料显示,杭州微纳智感光电科技有限公司,成立于2019年,位于杭州市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州微纳智感光电科技有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息1条,专利信息8条,此外企业还拥有行政许可4个。

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来源:市场资讯

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