英飞凌申请气体传感器和用于制造气体传感器的方法专利，实现对扩散到第一腔室中的分析气体的敏感检测
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2025-11-25 20:35:53
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国家知识产权局信息显示，英飞凌科技股份有限公司申请一项名为“气体传感器和用于制造气体传感器的方法”的专利，公开号CN 121008006 A，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，本公开涉及气体传感器和用于制造气体传感器的方法。一种气体传感器，包括MEMS感测元件、布置在气体传感器中的第一腔室、以及第一隔膜，第一隔膜对于分析气体的分子是基本上可渗透的，并且对于大于分析气体的分子的分子是基本上不可渗透的。第一隔膜被配置为允许分析气体扩散到第一腔室中。MEMS感测元件关于扩散到第一腔室中的分析气体是敏感的。
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