中微公司获得实用新型专利授权：“一种集成式匹配器系统及半导体处理装置”_资讯

中微公司获得实用新型专利授权：“一种集成式匹配器系统及半导体处理装置”

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2025-11-07 06:05:49

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种集成式匹配器系统及半导体处理装置”，专利申请号为CN202422709197.8，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：本实用新型公开了一种集成式匹配器系统及半导体处理装置，所述集成式匹配器系统包括：箱体，箱体内设有至少两层安装板；其中，匹配器系统中能够产生射频的射频组件设置在一安装板上；匹配器系统中用于控制射频组件的控制组件设置在另一安装板上；隔离板，覆盖在控制组件所在的安装板上，以将射频组件和控制组件进行电磁隔离。本实用新型能够减少射频损耗和时间延迟，优化刻蚀过程的控制和刻蚀效果。

今年以来中微公司新获得专利授权134个，较去年同期增加了44.09%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息99条，专利信息1603条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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