中证报中证网讯（王珞）近日，华海清科（688120）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机批量交付国内多家集成电路制造头部企业。这标志着华海清科离子注入装备开始进入规模化应用提速阶段，不仅反映出客户对华海清科产品性能和研发能力的高度认可，也展现出华海清科在高端离子注入装备国产化进程中的贡献与决心。

据了解，华海清科自布局离子注入装备以来进展迅速，产品体系不断完善，从大束流离子注入机系列装备，到正在加速推出的高能离子注入机系列装备，形成了覆盖逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图像传感器）及硅片制造等多领域工艺需求的全面产品矩阵。在产品性能方面，华海清科离子注入装备表现卓越，其最新一代大束流离子注入机在置换率等方面已与国际领先竞争对手达到同一水平，具备高稳定性与高工艺匹配度，能够满足先进制程对离子注入均匀性、精准度的严苛要求。目前，该系列装备已在多家客户端顺利通过验证，凭借出色的综合性能赢得了客户的高度肯定，重复订单的获取正是其产品实力与市场信心的有力证明。

华海清科表示，公司持续深化“装备+服务”平台化发展战略，产品现已覆盖CMP、离子注入、减薄、划切、边缘抛光、湿法等关键装备，配套提供晶圆再生与耗材维保服务，形成完整的工艺解决方案体系。此次批量交付国内多家集成电路制造头部企业，是华海清科离子注入装备发展的重要里程碑，充分证明了其强大的研发实力与前瞻性的市场布局。

展望未来，华海清科表示将不断推进技术创新、加大研发投入，致力于为半导体产业提供更多先进的高端半导体装备及工艺集成解决方案，与产业链伙伴共同推动构建更加完善、自主可控的半导体产业生态，为半导体产业的高质量发展贡献力量。