截至2025年10月16日 13点53分，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌1.35%。成分股方面涨跌互现，中巨芯领涨5.57%，神工股份上涨2.81%，耐科装备上涨2.06%；芯源微领跌3.81%，沪硅产业下跌3.66%，先锋精科下跌3.53%。科创半导体ETF（588170）下跌1.31%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手12.63%，成交4.30亿元，市场交投活跃。规模方面，科创半导体ETF最新规模达34.17亿元，创成立以来新高，领先同类。

消息面上，清华大学电子工程系方璐教授团队在智能光子领域取得重大突破，成功研制出全球首款亚埃米级快照光谱成像芯片“玉衡”，这一成果标志着我国智能光子技术在高精度成像测量领域达到了新的高度。相关研究成果已在线发表于国际知名学术期刊《自然》。

中信证券表示，当前，海外先进制造、先进封装代工产能难以获取，国产算力产业链仍在奋力追赶，关键环节处于“强需求、弱供给”的状态。在传统半导体国产化已有一定基础的情况下，先进制程、先进存储、先进封装、核心设备材料、EDA软件的国产化仍有较大提升空间。建议关注人工智能需求增量及国产化进展。

相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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