截至9月29日11:06，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.75%，成分股京仪装备上涨3.97%，拓荆科技上涨3.55%，中微公司上涨2.97%，中科飞测上涨2.03%，富创精密上涨1.92%。科创半导体ETF（588170）上涨0.41%，最新价报1.48元。

从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近8天获得连续资金净流入，最高单日获得6.32亿元净流入，合计“吸金”14.90亿元，日均净流入达1.86亿元。截至9月26日，科创半导体ETF规模突破23亿元，创历史新高。

方正证券认为，2025年以来半导体设备国产化进程进入加速期，上半年中国半导体设备市场国产化率达21%（同比提升5个百分点），大基金三期首投聚焦键合设备（拓荆键科获4.5亿元投资），华为昇腾AI芯片路线图推动先进制程需求，国产设备商在先进封装、核心零部件等关键环节实现技术突破，受益于AI算力与国产化的双重驱动，行业呈现“政策助力、技术突破、需求拉动”的良性循环。

相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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