证券之星消息,国林科技(300786)09月18日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问:芯片光刻制造过程中的多重曝光需要清洗次数增加,对清洗洁净度有更高要求,请问公司的半导体臭氧设备能满足多重曝光工艺的适配需求吗?
国林科技回复:尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程,子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。感谢您的关注。
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