原创 夏罗登工业科技2025中国半导体生态发展大会,共筑精密流量测控新未来
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2025-08-28 18:36:00
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八大领域聚焦:国家战略 技术驱动 新兴需求

2025年中国半导体生态发展大会暨产学研博览会8月20-22日在上海张江科学会堂盛大启幕。本次大会以"国家战略、技术驱动、新兴需求"为主题,深度聚焦集成电路设计、先进存储与HBM、MEMS传感器、原子级制造ALD/ALE、先进封装TSV/TGV、化合物半导体、AI for半导体和半导体分析测试设备等八大核心领域,为半导体产业链上下游企业搭建高端交流平台。

作为本次大会的赞助商,夏罗登SCHALOD工业科技深感荣幸能携手行业同仁,共同助力中国半导体产业链的创新与协同发展。公司始终以“小微精密测量、精准控制”为技术核心,致力于为半导体制造、光伏、医疗、生物制药等高精尖领域提供可靠的本土化流体测控解决方案。我们期望与各方深入交流,分享我们在精密流量传感与控制领域的最新成果,共同推动关键技术的自主可控与产业生态的繁荣壮大。

深耕细作:夏罗登的精密流量测控技术之路。

夏罗登工业科技多年来专注于高端精密流量传感器领域,具备精密小微流量计的设计、封装、研发、算法开发等全链条技术能力。公司现有产品聚焦精密型小口径小微流量计系列,涵盖质量流量控制器(MFC)、超声波流量计、电磁流量计、涡街流量计、涡轮流量计、齿轮流量计、液位传感器等多个品类,以及电导率电极、pH电极变送器、电导率电极变送器、高温纯水pH传感器等流体测控相关产品。

“半导体制造工艺对流体测控精度有着极其严苛的要求,”夏罗登工业科技总经理夏前明先生表示,“我们始终致力于为半导体产业提供高精度、高可靠性的流量测控解决方案,助力中国半导体装备自主可控。”

技术突破:夏罗登的创新成果展示

精密流量控制在半导体制造中的应用

在半导体制造过程中,质量流量控制器(MFC) 是刻蚀、CVD、PVD等关键工艺环节的核心部件。夏罗登开发的高精度MFC系列产品,控制精度高、响应时间短,完全满足半导体制造工艺要求,可实现对工艺气体的精确控制和监测。

超声波流量计在晶圆清洗中的应用

针对半导体制造中的超声波晶圆清洗工艺,夏罗登推出了专用超声波流量计,采用非接触式测量原理,具有无压力损失、无污染风险等优点,测量精度达到±1.0%,为清洗工艺提供可靠的流量监测保障。

特种流量传感器在化合物半导体制造中的应用

针对化合物半导体制造过程中的特殊工艺需求,夏罗登开发了耐腐蚀、耐高温的特种流量传感器,可适用于各种腐蚀性气体和液体的精确测量,为化合物半导体制造提供可靠的流体控制解决方案。

产学研深度融合:夏罗登的创新生态建设

夏罗登工业科技始终坚持产学研协同创新,与上海交通大学、上海大学、复旦大学等多家科研院所建立了长期合作关系。

国产化替代:夏罗登的技术实力与成就

夏罗登工业科技的产品性能完全可实现国产化替代,公司荣获国家高新技术企业、上海市专精特新技术企业、松江区专精特新技术企业等荣誉称号,并通过了ISO9001质量管理体系认证。 我们的目标不仅是实现国产化替代,更要打造具有国际竞争力的高端流量测控产品,"夏罗登研发总监罗博士表示,"通过持续的技术创新和工艺改进,我们的产品已经在多个领域实现对进口产品的替代。"

广泛应用:夏罗登产品的多元领域覆盖

半导体制造

在单晶硅生长炉、刻蚀工艺、超声波晶圆清洗等环节,精密小微气体流量计测控产品为半导体制造提供精确的流体控制保障。

光伏产业

在硅片制造过程中,高纯度气体流量控制器为光伏硅片生产提供可靠的流体测控解决方案。

医疗器械

在心肺机、肝脏移植和血液透析等医疗设备中,外夹式超声流流量计为生命健康保驾护航。

生物制药

在细胞培养、生物发酵反应罐/釜等过程中,夏罗登的产品提供精确的流体测量和控制。

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原文转自:周口网

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