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鸿浩半导体申请干泵转子表面处理工艺专利，可增加沉积纯度

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2025-08-26 10:33:46

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金融界2025年8月26日消息，国家知识产权局信息显示，广东鸿浩半导体设备有限公司申请一项名为“一种干泵转子的表面处理工艺”的专利，公开号CN120536891A，申请日期为2024年02月。

专利摘要显示，本发明公开了一种干泵转子的表面处理工艺，涉及表面处理领域；包括预处理，将干泵转子放入清洁剂中浸泡10‑20分钟，然后用去离子水冲洗干净，用吹风机吹干表面的水分，镀膜处理，将预处理后的干泵转子进行DLC膜改性处理。本发明通过微波ECR等离子体源用于材料加工时，等离子体没有污染，可增加沉积纯度，能量转换率高，95％以上微波功率可以转化为等离子体能量，从而能量利用率高，并且可以高速率地获得高纯度的反应物质，特别是有高化学活性的反应物质，减少了高能离子对沉积物质或基体表面的损伤，可以控制参加反应的粒子的能量，获得其他方法难以得到的高能亚稳定相结构，从而可以提高沉积质量，增加转子表面改性性能。

天眼查资料显示，广东鸿浩半导体设备有限公司，成立于2021年，位于佛山市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6900万人民币。通过天眼查大数据分析，广东鸿浩半导体设备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息69条，此外企业还拥有行政许可24个。

来源：金融界

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