细美事申请用于使用提供给工艺室的电压控制等离子体密度的电磁波提供装置及包括该装置的衬底处理装置专利，基于与电力相关的电压的有效值来控制腔室内部空间中产生的等离子体密度_资讯

细美事申请用于使用提供给工艺室的电压控制等离子体密度的电磁波提供装置及包括该装置的衬底处理装置专利，基于与电力相关的电压的有效值来控制腔室内部空间中产生的等离子体密度

创始人

2025-08-24 01:03:06

0次

金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“电磁波提供装置及包括该电磁波提供装置的衬底处理装置”的专利，公开号CN120527263A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，提供了一种用于使用提供给工艺室的电压来控制等离子体密度的电磁波提供装置、以及包括该电磁波提供装置的衬底处理装置。衬底处理装置包括：腔室壳体，在腔室壳体中限定有内部空间，所述内部空间用于处理其中的衬底；工艺气体供应单元，用于将工艺气体提供到腔室壳体的内部空间中；第一电极，设置在腔室壳体的内部空间中；以及电磁波提供装置，被配置为使用电磁波向第一电极提供电力，其中，电磁波提供装置被配置为基于与电力相关的电压的有效值来控制腔室壳体的内部空间中产生的等离子体密度。

来源：金融界

显示电磁波有效值控制电压装置处理等离子体密度工艺室腔室衬底壳体

上一篇：乾照光电申请一种LED芯片、高压LED芯片专利，提高LED发光角度

下一篇：极氪智能等申请电池管理芯片保护电路专利，提升电池管理芯片的可靠性与使用寿命

细美事申请用于使用提供给工艺室的电压控制等离子体密度的电磁波提供装置及包括该装置的衬底处理装置专利，基于与电力相关的电压的有效值来控制腔室内部空间中产生的等离子体密度

相关内容

热门资讯