杭州富芯半导体申请集成半导体器件及其制备方法专利,降低SGT器件的IGSS漏电风险
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2025-08-23 20:03:30
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金融界2025年8月23日消息,国家知识产权局信息显示,杭州富芯半导体有限公司申请一项名为“集成半导体器件及其制备方法”的专利,公开号CN120529631A,申请日期为2025年07月。

专利摘要显示,本申请涉及半导体技术领域,特别涉及一种集成半导体器件及其制备方法;制备方法可以包括:提供基底,基底包括横向排布的第一导电类型的SGT基底区和第二导电类型的BCD基底区;于BCD基底区中形成至少一个浅沟槽隔离结构;至少于SGT基底区形成耐压栅沟槽结构和屏蔽栅沟槽结构,屏蔽栅沟槽结构包括屏蔽栅极、控制栅极、屏蔽栅氧化层和控制栅氧化层,屏蔽栅氧化层隔离屏蔽栅极和基底,控制栅氧化层隔离控制栅极和基底、以及隔离屏蔽栅极和控制栅极;形成至少覆盖屏蔽栅沟槽结构的表面的隔离氧化层,隔离氧化层与控制栅氧化层连续。

天眼查资料显示,杭州富芯半导体有限公司,成立于2019年,位于杭州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目27次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息294条,此外企业还拥有行政许可17个。

来源:金融界

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