智慧星空申请一种水平向传感器的位姿确定及标定方法专利，提高光刻过程的套准精度_资讯

智慧星空申请一种水平向传感器的位姿确定及标定方法专利，提高光刻过程的套准精度

创始人

2025-08-23 15:35:20

0次

金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，智慧星空（上海）工程技术有限公司;深圳智达星空科技（集团）有限公司申请一项名为“一种水平向传感器的位姿确定方法及一种标定方法”的专利，公开号 CN120141292A，申请日期为 2022 年 02 月。

专利摘要显示，本发明属于光刻标定技术领域，具体涉及一种水平向传感器的位姿确定方法及一种标定方法。本发明提出适用于采用背向的双目传感器的步进光刻机的一种水平向传感器的位姿确定方法；设置配置有标定掩模图案的基准掩模版和配置有标定曝光图案的基准基板；之后通过设置在掩模版一侧的传感器对基准掩模版和基准基板进行标定；之后基于此标定得出水平向传感器的位姿关系；可以提高水平向传感器的测量的精度，通过偏移量补偿，有效提高光刻过程的套准精度。

天眼查资料显示，智慧星空（上海）工程技术有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析，智慧星空（上海）工程技术有限公司参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息65条，此外企业还拥有行政许可13个。

深圳智达星空科技（集团）有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本29367.6767万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳智达星空科技（集团）有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息7条，专利信息63条，此外企业还拥有行政许可8个。

来源：金融界

企业方法水平过程基准星空精度传感器查大专利掩模版位姿

上一篇：人民日报关注吉林等地：新潮商场发力青年消费（探访）

下一篇：记者：恰20是加拉塔萨雷首要目标，几小时内将以1500万欧报价国米

智慧星空申请一种水平向传感器的位姿确定及标定方法专利，提高光刻过程的套准精度

相关内容

热门资讯