国家知识产权局信息显示,无锡迪普微视科技有限公司申请一项名为“半导体晶圆检测用落射式暗场照明显微成像系统及方法”的专利,公开号CN122591693A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体检测技术领域,公开了半导体晶圆检测用落射式暗场照明显微成像系统及方法,包括:载物台,明场光源模块,暗场光源模块,包括沿中空环形布局对称排列的12个准直LED子光源,构建出12条互不干扰、方向明确的独立照明路径;中空锥透镜,采用中心中空结构,所述锥透镜上表面为平面、下表面为锥面;照明控制模块,实现至少三种可灵活切换的暗场照明模式;脉冲驱动模块,以及自动对焦模块和XY位移台,用于完成自动对焦和视场切换。本发明能实现半导体晶圆表面不同类型、尺寸、取向缺陷的高对比度、高信噪比、高效率暗场显微成像检测。
天眼查资料显示,无锡迪普微视科技有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本400万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡迪普微视科技有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可1个。
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来源:市场资讯