积塔半导体申请半导体结构及其制备方法专利,确保器件结构的完整性与电学性能的稳定性
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2026-08-14 01:31:01
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国家知识产权局信息显示,上海积塔半导体有限公司申请一项名为“一种半导体结构及其制备方法”的专利,公开号CN122555216A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,提供了一种半导体结构及其制备方法。本发明通过对伪栅极进行表面改性生成致密保护层,使得在对源/漏极进行金属硅化物工艺形成金属硅化物层时,伪栅极表面覆盖的该致密保护层,能够有效阻止伪栅极材料与金属镍发生不必要的合金化反应,确保器件结构的完整性与电学性能的稳定性;该致密保护层能让伪栅极表层更加致密的同时,保持伪栅极原有能够被刻蚀去除特性,提升其结构稳定性,保障最终替换金属栅极的尺寸精度符合制程要求。

天眼查资料显示,上海积塔半导体有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1707499.4119万人民币。通过天眼查大数据分析,上海积塔半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2128次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息1419条,此外企业还拥有行政许可206个。

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来源:市场资讯

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