国家知识产权局信息显示,盛新材料科技股份有限公司申请一项名为“制备高纯度半绝缘单晶碳化硅晶体的工艺”的专利,公开号CN122484905A,申请日期为2020年8月。
专利摘要显示,本申请涉及一种制备高纯度半绝缘单晶碳化硅晶体的工艺,包括坩埚内容纳碳化硅作为材料源,所述材料源的硅碳比例是0.95至1.05。所述坩埚的内部上方配置有固持器,所述固持器用于固定晶种。在长晶过程,长晶时温度范围控制于2000℃至2270℃之间,长晶时间是150小时或200小时,以使所述坩埚的内部处于富碳环境,从而生长出来的所述高纯度半绝缘单晶碳化硅晶体的电阻率大于1E7 ohm-cm。
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