富芯半导体申请半导体结构制备方法专利，保证栅极沟槽侧壁形貌
创始人
2026-07-03 20:47:16
0次
国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制备方法以及半导体器件”的专利，公开号CN122340889A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本申请公开了一种半导体结构的制备方法以及半导体器件，其中，一种半导体结构的制备方法包括：提供半导体衬底；所述半导体衬底具有多个分立的鳍部；在所述半导体衬底上形成横跨所述鳍部的伪栅极；在所述伪栅极的侧壁表面形成伪栅极侧墙；所述伪栅极侧墙为复合膜层；在所述伪栅极的外侧形成第一氧化层；去除所述伪栅极以及所述伪栅极侧墙中靠近所述伪栅极一侧的目标膜层，形成栅极沟槽；在所述栅极沟槽中填充金属材料，形成金属栅极。本申请提供的方案能够在较为彻底的去除伪栅极的同时保证栅极沟槽侧壁形貌。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息374条，此外企业还拥有行政许可27个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
新润川泰取得嵌入式蒸发器专利，...
国家知识产权局信息显示，宁夏新润川泰材料有限公司取得一项名为“一种嵌入式蒸发器”的专利，授权公告号C...
广电计量招标结果：关于“广电计...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，广电计量检测集团股份有限公司6月29日发布《关于“...
西安宇东能源取得抗电磁干扰大功...
国家知识产权局信息显示，西安宇东能源科技有限公司取得一项名为“一种抗电磁干扰的大功率供电电源”的专利...
本源量子取得量子芯片读取链路的...
国家知识产权局信息显示，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司取得一项名为“量子芯片读取链路的电源电路...
华能澜沧江水电取得储能电源与洁...
国家知识产权局信息显示，华能澜沧江水电股份有限公司取得一项名为“一种储能电源与洁净能源联网的有功功率...
ATX 3.1+氮化镓技术加持...
在主机配置中，电源是相当关键但却又容易被大家忽视的一环，一款好的电源可以提升主机运行的稳定性，带来更...
简皆科技取得移动电源电池鼓包检...
国家知识产权局信息显示，深圳市简皆科技有限公司取得一项名为“一种移动电源”的专利，授权公告号CN12...
强力巨彩取得转接板上高压电源输...
国家知识产权局信息显示，厦门强力巨彩光电科技有限公司取得一项名为“一种转接板上高压电源输入结构及LE...
【结果公告】中卫市妇幼保健院听...
中卫市妇幼保健院 听觉诱发电位系统维修项目单一来源采购结果公告 一、项目名称 中卫市妇幼保健院听觉诱...
苏电院取得双向临界电流试验装置...
国家知识产权局信息显示，苏州电器科学研究院股份有限公司取得一项名为“一种双向临界电流试验装置”的专利...