长鑫科技申请半导体结构及其制造方法专利,形成与有源结构电连接的电容结构
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2026-06-23 22:31:44
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国家知识产权局信息显示,长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“半导体结构及其制造方法、电子设备”的专利,公开号CN122269692A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本公开实施例提供了一种半导体结构及其制造方法、电子设备,其中,制造方法包括:提供初始结构,初始结构包括:衬底,位于衬底上的叠层结构,叠层结构包括交替堆叠的第一半导体层和第一隔离层;隔离槽,在叠层结构内呈阵列排布;第二隔离层,填充隔离槽;第一开口,位于相邻的隔离槽之间;从第一开口去除部分第一半导体层,以形成电容槽;在电容槽和第一开口内填充第一牺牲结构;去除第二隔离层以打开隔离槽,并从隔离槽刻蚀第一半导体层,以形成多个有源结构;形成第三隔离层,以至少填充隔离槽;去除第一牺牲结构以打开第一开口和电容槽;形成电容结构,电容结构包括第一电极层,第一电极层覆盖电容槽的内壁,并与有源结构电连接。

天眼查资料显示,长鑫科技集团股份有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析,长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目1082次,财产线索方面有商标信息287条,专利信息693条,此外企业还拥有行政许可39个。

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来源:市场资讯

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