越润集成电路取得用于晶圆热烘翘曲的检测装置专利，通过警报或者观察可得知晶圆发生了翘曲_资讯

越润集成电路取得用于晶圆热烘翘曲的检测装置专利，通过警报或者观察可得知晶圆发生了翘曲

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2026-05-22 09:50:17

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国家知识产权局信息显示，越润集成电路（绍兴）有限公司取得一项名为“一种用于晶圆热烘翘曲的检测装置”的专利，授权公告号CN224267206U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请涉及晶圆热烘装置的技术领域，尤其是涉及一种用于晶圆热烘翘曲的检测装置，包括平台以及设置于平台上的支撑点，所述平台中间区域为支撑区，所述支撑区用于支撑晶圆的中间部分，所述支撑点位于支撑区内；所述平台位于支撑区外侧的区域为检测区，所述检测区内具有平行于支撑点延伸方向的探针，所述探针沿垂直于所述平台表面的方向升降设置，所述平台内设置有用于驱使所述探针升降运动的驱动结构。本申请具有以下效果：位于平台中间位置的支撑区主要对晶圆中部进行支撑，而位于支撑区外侧的探针，实现在升降后接触晶圆的功能，在热烘结束后，若发生翘曲情况，探针与晶圆之间存在间隙，此时通过警报或者观察可得知晶圆发生了翘曲。

天眼查资料显示，越润集成电路（绍兴）有限公司，成立于2019年，位于绍兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析，越润集成电路（绍兴）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目61次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息248条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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