国家知识产权局信息显示,荆楚理工学院;湖北永创鑫电子有限公司申请一项名为“一种用于增强光电性能的p-Si/n-ZnO界面修饰的制备方法”的专利,公开号CN122002948A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于增强光电性能的p‑Si/n‑ZnO界面修饰的制备方法,属于异质结光电技术领域,包括以下步骤:1)清洗Si,分别用丙酮、无水乙醇和去离子水各清洗20分钟;2)采用磁控溅射技术,将p‑Si放入磁控溅射腔室,在p‑Si上制备本征ZnO;3)将制备的Si基ZnO进行氧化退火;4)在步骤3)基础上,采用磁控溅射技术,制备n‑ZnO;5)将制备的p‑Si/n‑ZnO异质结进行还原退火;6)得到界面修饰后增强光电性能的p‑Si/n‑ZnO异质结材料。该用于增强光电性能的p‑Si/n‑ZnO界面修饰的制备方法,制备的p‑Si/n‑ZnO界面修饰的异质结,用来光电转换效率测试,能够提高光电性能,并且具有制备简单、成本低的优点。
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