南亚科技申请半导体结构制造方法专利，加强抗反射层间粘着力及硬遮罩品质
创始人
2026-03-26 16:21:42
0次
国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“半导体结构的制造方法”的专利，公开号CN121728769A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，半导体结构的制造方法，包含在基板上形成位元线结构；在基板上与位元线结构之间形成介电层；在介电层上形成包含经等离子体处理的富氧抗反射层以及设置在其上的富硅抗反射层的层堆叠；形成包含遮罩特征以及开口的图案化遮罩层在层堆叠上，开口具有小于相邻的位元线结构之间的间距的第一宽度。还包含修整图案化遮罩层以扩大开口，使得开口具有大于第一宽度的第二宽度；在修整图案化遮罩层之后，以图案化遮罩层作为遮罩图案化层堆叠；以及以经图案化的层堆叠作为硬遮罩蚀刻基板，以在位元线结构之间形成接触洞。通过在沉积富硅抗反射层之前先对富氧抗反射层进行等离子体处理，能够加强富硅抗反射层与富氧抗反射层之间的介面的粘着力以及硬遮罩品质。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
海底输油管道专用阴极保护恒电位...
海底输油管道长期处于高盐度、高湿度、强冲刷、深水高压的海洋环境中，腐蚀风险远高于埋地管道，阴极保护恒...
DPP海洋平台外加电流阴极保护...
DPP 海洋平台恒电位仪是深海/浅海钻井/采油平台、FPSO 等海洋金属结构外加电流阴极保护的核心控...
恒电位仪(整流器下的分支）
在外加电流阴极保护系统中，整流器是将交流电转换为直流电的核心电源设备，而恒电位仪作为整流器下的重要分...
上海帝迪取得基于调制与钳位的高...
国家知识产权局信息显示，上海帝迪集成电路设计有限公司取得一项名为“基于调制与钳位的高边开关电流型栅极...
天能电池申请高效率可调节电池电...
国家知识产权局信息显示，天能电池集团（江西）有限公司申请一项名为“一种高效率可调节电池电压测试辅助装...
金风科创取得电压异常诊断方法专...
国家知识产权局信息显示，北京金风科创风电设备有限公司取得一项名为“电压异常诊断方法、控制器和风力发电...
2026年稳压器行业报价参考及...
在电力稳压器行业中，价格是用户选择产品时的重要考量因素之一。不同品牌、不同型号的稳压器价格差异较大，...
科创半导体设备ETF鹏华(58...
消息面上，紫光股份推出H3C UniPoD S80000超节点产品，采用液冷高密部署技术，单柜支持6...
郑中设计：深迪半导体系公司参股...
证券之星消息，郑中设计(002811)03月26日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者：...
计算摄影狂飙，索尼反向堆料：用...
最近这几年，手机厂商在影像这条赛道上可以说是杀红了眼。 大家不妨看看最近发布的那些旗舰手机，背后的摄...