格科微申请半导体结构及其形成方法专利,提升器件电学可靠性与封装良率
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2026-02-28 16:45:15
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国家知识产权局信息显示,格科微电子(上海)有限公司申请一项名为“一种半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121586461A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体结构及其形成方法。所述方法包括:提供衬底,在衬底中形成多个硅通孔并填充导电材料,在硅通孔上方形成导电的金属焊盘,并在导电焊盘周围形成至少一圈盲孔结构,以实现导电焊盘的电隔离。其中盲孔结构在衬底法线方向的截面为绝缘的介质结构,进一步的,盲孔结构与硅通孔可采用同一掩膜版同步形成,无需额外光刻步骤。本发明通过在焊盘外围引入小尺寸盲孔结构,有效抑制寄生漏电,提升器件电学可靠性与封装良率,兼具工艺兼容性与成本优势。

天眼查资料显示,格科微电子(上海)有限公司,成立于2003年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6259.722万美元。通过天眼查大数据分析,格科微电子(上海)有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息69条,专利信息1098条,此外企业还拥有行政许可44个。

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来源:市场资讯

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