北京电子量检测装备申请宏微观晶圆缺陷检测装置专利，相对提高检测效率_资讯

北京电子量检测装备申请宏微观晶圆缺陷检测装置专利，相对提高检测效率

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2026-02-09 15:42:07

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国家知识产权局信息显示，北京电子量检测装备有限责任公司申请一项名为“一种宏微观晶圆缺陷检测装置”的专利，公开号CN121476229A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及一种宏微观晶圆缺陷检测装置，包括：宏观检测单元，其包括宏观调节组件、宏观夹持组件、光源以及宏观相机，宏观调节组件包括R轴驱动机构和固定安装于R轴驱动机构驱动端的F轴驱动机构，宏观夹持组件固定安装于F轴驱动机构的驱动端，宏观夹持组件用于夹持晶圆；微观检测单元，其包括固定安装的微观平台、固定安装于微观平台的第一直线驱动机构、固定于第一直线驱动机构驱动端的晶圆吸附机构以及固定安装于微观平台的明暗场检测机构，第一直线驱动机构的驱动方向为水平方向，晶圆吸附机构用于吸附晶圆，明暗场检测机构用于拍摄晶圆的正面和背面。本发明可对晶圆的表面进行宏观和微观检测，相对提高检测效率。

天眼查资料显示，北京电子量检测装备有限责任公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15550万人民币。通过天眼查大数据分析，北京电子量检测装备有限责任公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目73次，专利信息138条，此外企业还拥有行政许可8个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业宏微观缺陷装备投资驱动机构检测装置专利驱动端宏观微观晶圆组件

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