纤纳光电申请自清洁蒸发源系统专利，降低设备维护时间成本_资讯

纤纳光电申请自清洁蒸发源系统专利，降低设备维护时间成本

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2026-02-06 22:12:52

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国家知识产权局信息显示，杭州纤纳光电科技股份有限公司申请一项名为“一种自清洁的蒸发源系统以及连续制备大面积薄膜的方法”的专利，公开号CN121451120A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明涉及一种自清洁的蒸发源系统以及连续制备大面积薄膜的方法，自清洁的蒸发源系统包括材料蒸发装置、蒸气传输装置、自清洁装置、蒸气扩散装置、载气供给装置和真空镀膜装置。自清洁装置分别设置在材料蒸发装置和真空镀膜装置上，蒸气扩散装置设置在真空镀膜装置内，载气供给装置与材料蒸发装置相互连通，真空镀膜装置通过蒸气传输装置与材料蒸发装置相互连通。真空镀膜装置包括真空镀膜腔室、真空控制部件和基片传输部件，蒸发源材料放置在蒸发坩埚内，待镀膜的基片放置在真空镀膜腔室内的基片传输部件上被传输。本发明采用自上而下的材料沉积镀膜结构，在基片镀膜连续生产间隙中对设备进行自清洁，降低设备维护时间成本，保持设备的洁净度。

天眼查资料显示，杭州纤纳光电科技股份有限公司，成立于2015年，位于杭州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5500万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州纤纳光电科技股份有限公司共对外投资了15家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息277条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资降低基片装置设备传输系统杭州专利自清洁真空蒸发源镀膜

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