上海稷以科技申请半导体晶圆双层传输系统专利,提高了晶圆传输效率
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2026-02-06 11:42:34
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国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“半导体晶圆双层传输系统及传输方法”的专利,公开号CN121463764A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明提出了一种半导体晶圆双层传输系统及传输方法,该系统包括:双层机械手,其包括上层手指和下层手指;一对晶圆升降系统,用于承载对应的晶圆,其与工艺腔内的晶圆载台对应设置;晶圆升降系统,其输出端为晶圆顶针,其输入端为双行程气缸;晶圆顶针穿过对应的晶圆载台,双行程气缸位于工艺腔的外部。本发明提高了晶圆传输效率。

天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目90次,财产线索方面有商标信息36条,专利信息155条,此外企业还拥有行政许可19个。

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来源:市场资讯

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