芯卓湖光申请半导体测试结构及测试方法专利,能够显著缩短测试周期
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2026-02-04 14:12:05
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国家知识产权局信息显示,无锡芯卓湖光半导体有限公司申请一项名为“一种半导体测试结构及测试方法”的专利,公开号CN121443027A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体测试结构及测试方法,该测试结构包括基底、虚拟栅极组及测试区,其中,虚拟栅极组位于基底上方,包括在第一方向上具有间距且均至少沿第二方向延伸的第一虚拟栅极及第二虚拟栅极,第二方向垂直于第一方向,测试区形成于基底中,且测试区在第一方向上还位于第一虚拟栅极及第二虚拟栅极之间,所述测试区用于通过方块电阻值的大小值表征所述第一虚拟栅极及所述第二虚拟栅极的间距是否满足工艺要求。该测试结构可以实现通过对第一虚拟栅极与第二虚拟栅极之间的测试区的电学性质的测试以为半导体器件中相邻多晶硅栅极之间的间距的设计提供依据。该测试方法操作步骤简单且测试效率较高,能够显著缩短测试周期,节约测试成本。

天眼查资料显示,无锡芯卓湖光半导体有限公司,成立于2023年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡芯卓湖光半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目7次,专利信息56条,此外企业还拥有行政许可16个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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