科磊申请用于半导体计量的入射角及方位角分辨光谱椭偏专利，可基于机器学习从测量数据推断半导体结构的关键参数
创始人
2026-01-23 13:44:37
0次
国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“用于半导体计量的入射角及方位角分辨光谱椭偏”的专利，公开号CN121368716A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本文中呈现用于基于以波长、方位角及入射角分辨的数据集来执行半导体结构的光谱椭偏(SE)测量的方法及系统。在一些实施例中，基于机器学习的测量模型经训练以基于以波长、方位角及入射角分辨的SE测量数据来推断表征受测量结构的一或多个关注参数的经估计值。在一些其它实施例中，对基于物理的测量模型执行回归以估计表征受测量结构的一或多个关注参数的值。集光光束路径中的分散元件使经收集光跨检测器的作用表面分散，以根据波长及一个角尺寸来分辨经收集光。此外，通过所述检测器收集多个图像以跨另一角尺寸分辨经收集光。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
微科电源取得基于供电前馈与电子...
国家知识产权局信息显示，深圳市微科电源系统有限公司取得一项名为“一种基于供电前馈与电子阻尼的开关驱动...
股市必读：华虹宏力新发布《华虹...
截至2026年9月11日收盘，华虹宏力(688347)报收于219.07元，下跌2.25%，换手率3...
扬州鼎锋旗下基金完成备案，投资...
近日，扬州鼎锋引领股权投资合伙企业(有限合伙)完成中国证券投资基金业协会备案，正式进入投资运作阶段。...
深夜，全线跳水！AI芯片，重大...
芯片股集体杀跌！ 北京时间13日晚间，芯片股在暗盘交易中集体大跳水，SK海力士跌超4%，英特尔跌近4...
股市必读：深南电路新发布《北京...
截至2026年9月11日收盘，深南电路(002916)报收于396.68元，上涨1.11%，换手率1...
股市必读：中瓷电子（00303...
截至2026年9月11日收盘，中瓷电子(003031)报收于118.06元，下跌1.71%，换手率2...
Anthropic对人工智能的...
9月13日，市场观察人士指出，人工智能高管们呼吁放缓技术发展的言论，短期内可能会对芯片制造商及供应链...
并入光洋股份版图：PCB利基龙...
恰逢近期光洋股份（002708.SZ）完成对常熟东南相互电子有限公司100%股权收购的工商变更登记，...
两大PCB牛股澄清：传闻不实
9月13日晚，两只PCB（印制电路板）大牛股金安国纪、超声电子发布股票交易异常波动公告称，未向英伟达...
《星星说》下周引言（9.14—...
作者：王祯的幻世界 下周引言： 上周我们说要注意情感关系的稳定性，放下猜忌，打开心扉好好沟通，尽量...