华虹半导体申请降低后段互联接触电阻专利,显著降低接触电阻
创始人
2026-01-21 09:39:46
0

国家知识产权局信息显示,华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“降低后段互联接触电阻的方法”的专利,公开号CN121358270A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明公开了一种降低后段互联接触电阻的方法,涉及半导体制造技术领域。该方法包括:在形成暴露下层铜互连结构的开口后,对衬底进行表面处理。所述表面处理采用包含还原性气体(例如氢气)的处理气体,在等离子体环境中,将所述下层铜互连结构表面的氧化铜还原为金属铜。本发明通过引入还原性气体进行刻蚀后处理,能够高效、温和地去除界面氧化层,显著降低通孔与下层铜互连结构之间的接触电阻,且不会对器件造成损伤。该方法工艺窗口宽,稳定性好,有助于减小集成电路的RC延迟,提升芯片整体性能。

天眼查资料显示,华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目376次,专利信息160条,此外企业还拥有行政许可229个。

华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2944次,专利信息1969条,此外企业还拥有行政许可117个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

相关内容

热门资讯

原创 特... 据新华网报道,应美方邀请,国家领导人特别代表将赴美国首都华盛顿出席于1月20日举行的特朗普总统就职典...
股票行情快报:超研股份(301... 证券之星消息,截至2026年1月14日收盘,超研股份(301602)报收于24.71元,下跌1.16...
半导体外延技术全景:多元产品矩... 在半导体产业链中,外延生长是决定器件性能的核心前道工艺,其技术高度直接影响芯片的*终表现。先进的半导...
原创 “... 特朗普的做法展现了他独特的外交风格。在处理台海问题时,他并没有通过传统的军事支持来彰显美方立场,而是...
原创 提... 文 |无言 2026年1月13日,澳大利亚总理阿尔巴尼斯突然宣布,驻美大使陆克文将在3月31日提前卸...