国家知识产权局信息显示,华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“降低后段互联接触电阻的方法”的专利,公开号CN121358270A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种降低后段互联接触电阻的方法,涉及半导体制造技术领域。该方法包括:在形成暴露下层铜互连结构的开口后,对衬底进行表面处理。所述表面处理采用包含还原性气体(例如氢气)的处理气体,在等离子体环境中,将所述下层铜互连结构表面的氧化铜还原为金属铜。本发明通过引入还原性气体进行刻蚀后处理,能够高效、温和地去除界面氧化层,显著降低通孔与下层铜互连结构之间的接触电阻,且不会对器件造成损伤。该方法工艺窗口宽,稳定性好,有助于减小集成电路的RC延迟,提升芯片整体性能。
天眼查资料显示,华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目376次,专利信息160条,此外企业还拥有行政许可229个。
华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2944次,专利信息1969条,此外企业还拥有行政许可117个。
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来源:市场资讯