甬矽半导体申请2.5D封装结构专利,极大地提升制程良率
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2026-01-15 11:09:58
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国家知识产权局信息显示,甬矽半导体(宁波)有限公司申请一项名为“5D封装结构”的专利,公开号CN121335611A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本申请涉及一种2.5D封装方法和2.5D封装结构,涉及芯片封装技术领域,首先制备堆叠封装模块。然后抛光减薄粘接胶层和第一塑封层,从而使得粘接胶层减薄至预设厚度。再对粘接胶层和第一塑封层进行等离子处理,使得粘接胶层改性并粉末化,且第一塑封层的表面老化形成白化层。然后再次通过抛光减薄工艺去除粉末化后的粘接胶层和白化层,从而露出桥连芯片上的第一导电柱。最后在第一塑封层表面形成第二重布线层。相较于现有技术,本发明实施例由于采用等离子工艺对粘接胶层进行处理,使得粘接胶层能够改性并粉末化,能够轻易地将残留的粘接胶去除干净,降低工艺难度,避免出现芯片过磨的现象,极大地提升制程良率。同时提升了去除效率。

天眼查资料显示,甬矽半导体(宁波)有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本400000万人民币。通过天眼查大数据分析,甬矽半导体(宁波)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目35次,专利信息243条,此外企业还拥有行政许可19个。

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