江苏芯梦半导体申请半导体镀覆用匀流板专利,能够有效保证气泡排出效果
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2026-01-06 14:10:50
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国家知识产权局信息显示,江苏芯梦半导体设备有限公司申请一项名为“半导体镀覆用匀流板、镀覆装置和镀液气泡排出方法”的专利,公开号CN121250506A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请涉及一种半导体镀覆用匀流板、镀覆装置和镀液气泡排出方法,匀流板适于设置在镀覆设备的空腔内,并将空腔分隔为内腔和外腔,其中,匀流板具有面向内腔的下端面以及面向外腔的上端面。匀流板包括第一区域、第二区域和第三区域,第一区域位于匀流板的中部,第一区域设有若干个间隔排布的匀流孔;第二区域位于匀流板的外周,第二区域设有溢流孔;内腔和外腔之间通过匀流孔和溢流孔相连通;第三区域位于第一区域和第二区域之间,第三区域下表面设置有第一气泡导向结构,第一气泡导向结构被配置为在向内腔注入镀液的过程中,引导第三区域下表面的气泡进入溢流孔内。利用第一气泡导向结构对气泡的导向作用,能够有效保证了泡排出效果。

天眼查资料显示,江苏芯梦半导体设备有限公司,成立于2019年,位于苏州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4193.7032万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏芯梦半导体设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目70次,财产线索方面有商标信息34条,专利信息135条,此外企业还拥有行政许可11个。

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来源:市场资讯

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