智慧星空申请键合设备及方法专利,降低芯片边缘或表面损伤的风险
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2025-12-29 13:08:17
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国家知识产权局信息显示,智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司申请一项名为“一种键合设备及方法”的专利,公开号CN121215560A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本申请公开了一种键合设备及方法,属于半导体封装技术领域。包括:蓝膜台,承载待键合芯片;硅片台,承载硅片;翻转装置,从蓝膜台拾取待键合芯片并转运至交接位后,驱动待键合芯片围绕第一轴旋转以进行位姿补偿;键合装置,自交接位拾取待键合芯片至键合位,并在键合位将待键合芯片与硅片相键合;翻转装置包括第一运动组件,用于驱动待键合芯片围绕第一轴旋转。本申请在翻转装置与键合装置的交接过程中,待键合芯片仅需经一次涉及电极面的交接,显著减少了待键合芯片在传递过程中的机械接触次数,降低了芯片边缘或表面损伤的风险。并且,在交接至键合装置前便通过翻转装置对待键合芯片进行位姿补偿,提高键合精度的同时简化了键合设备的结构。

天眼查资料显示,智慧星空(上海)工程技术有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,智慧星空(上海)工程技术有限公司参与招投标项目40次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息88条,此外企业还拥有行政许可14个。

广东星空科技装备有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本29367.6767万人民币。通过天眼查大数据分析,广东星空科技装备有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息7条,专利信息63条,此外企业还拥有行政许可8个。

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来源:市场资讯

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