盛美半导体申请用于方形基板的卡盘专利，能够将方形基板稳定地固定在卡盘上_资讯

盛美半导体申请用于方形基板的卡盘专利，能够将方形基板稳定地固定在卡盘上

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2025-12-25 18:08:27

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国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“用于方形基板的卡盘”的专利，公开号CN121192044A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本申请提出的用于方形基板的卡盘，包括卡盘本体和均匀分布在所述卡盘本体上的两个夹持装置，所述两个夹持装置分别用于夹持基板的相对的两个顶角位置；其中，每个夹持装置包括基座、支撑台、夹持件和限位件，所述基座固定在所述卡盘本体上，所述支撑台设置在所述基座上，用于支撑基板，所述夹持件通过销轴与所述基座活动连接，用于夹持或松开基板，所述夹持件包括夹爪和与夹爪相连的配重部，所述限位件设置在所述配重件的上方，用于限制所述夹持件绕销轴向上运动的高度。该卡盘结构简单，能够将方形基板稳定地固定在卡盘上，同时又能减少基板破损的风险。

天眼查资料显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本47989.2514万人民币。通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息651条，此外企业还拥有行政许可31个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业显示投资的卡方形基座本体导体盛美专利持件卡盘基板

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