国家知识产权局信息显示,武汉罗博半导体科技有限公司申请一项名为“多区域晶圆复检方法、装置、设备及存储介质”的专利,公开号CN 120997186 A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体检测技术领域,公开了一种多区域晶圆复检方法、装置、设备及存储介质,该方法通过根据晶圆的初检缺陷坐标和工艺数据,将初检缺陷按照空间分布聚类为多个初步区域,获取所述晶圆的图像特征,根据所述图像特征对所述多个初步区域进行区域边界修正,获得多个目标区域;对每个所述目标区域自适应设置区域焦点,适应同一区域内的局部高度差异,提高复检精度根据各所述目标区域;计算复检时相机的最短移动路径,根据所述最短移动路径,使用对应的区域焦点对各所述目标区域进行复检,最小化机械平台移动和Z轴调整时间,提高复检效率。
天眼查资料显示,武汉罗博半导体科技有限公司,成立于2023年,位于武汉市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉罗博半导体科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息11条,此外企业还拥有行政许可1个。
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来源:市场资讯