无锡虹芯申请半导体附属设备信息采集监控系统及方法专利，有效解决传统半导体设备管理中的实时性不足问题
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2025-11-24 10:10:39
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国家知识产权局信息显示，无锡虹芯集成电路科技有限公司申请一项名为“一种半导体附属设备的信息采集监控系统及方法”的专利，公开号CN 120993839 A，申请日期为2025年7月。专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种半导体附属设备的信息采集监控系统及方法。一种半导体附属设备的信息采集监控系统，包括：数据采集端，包括多台目标设备的内置传感器和输入端口，所述内置传感器用于采集目标设备的状态参数，所述输入端口用于采集目标设备的属性信息数据；边缘计算模块，包括若干个边缘计算节点，所述边缘计算节点部署在预设的设备集群区域；所述边缘计算节点用于对设备的状态参数进行数据融合，数据融合获得设备的健康特征数据。本发明通过构建边缘计算和云端协同的分布式监控架构，有效解决了传统半导体设备管理中的实时性不足问题。
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