“华年商城”小编为您介绍碳化硅MOS为什么电压基本上都是650V以上
碳化硅(SiC)MOSFET的电压等级集中在650V及以上,是由其材料特性、技术瓶颈、应用需求以及经济效益等多方面因素共同决定的。
一、材料特性与物理限制
碳化硅作为一种宽禁带半导体材料,其禁带宽度高达3.26eV,大约是硅材料(1.12eV)的3倍。更宽的禁带意味着材料具有更高的临界击穿电场强度(约为硅的8-10倍)。这使得在相同的厚度下,SiC器件能够承受比硅器件高得多的电压。
制造一个600V的功率器件,硅材料需要约50微米的漂移区厚度,而碳化硅仅需约5-10微米。更薄的漂移层也带来了更低的导通电阻,从而降低了传导损耗。因此,从材料物理本性来看,碳化硅天生就适合制造中高压功率器件。
值得注意的是,碳化硅MOSFET的沟道电子迁移率相对较低(约为硅材料的1/10至1/5)。在较低电压(如600V以下)应用中,硅基超结MOSFET(Super-Junction MOSFET)凭借成熟的工艺和优化的结构,依然能在导通电阻和成本上保持竞争优势,这使得碳化硅器件在更高电压领域寻求发展更为经济合理。
二、工艺挑战与可靠性权衡
制造低压碳化硅MOSFET(例如200V-400V)在技术上并非完全不可行,但会面临显著的 “大材小用”和性价比问题。
碳化硅MOSFET的栅氧层可靠性是一个核心挑战。碳化硅MOSFET的栅极氧化层通常采用SiO₂,但其临界击穿电场强度(约10 MV/cm)远低于SiC材料本身(>30 MV/cm)。在高压应用中,较高的栅极驱动电压(如+18V至+20V)对于降低沟道电阻、保证器件充分导通至关重要。然而,这会使栅氧层承受较大的电场应力,引发福勒-诺德海姆隧穿效应(F-N Tunneling),长期可能导致阈值电压漂移和栅氧层退化。在高压器件中,这种可靠性问题可以通过系统设计来权衡管理,但若用于制造低压器件,其导通电阻的优势不一定能完全发挥,反而可能“放大”栅氧可靠性等挑战,使得性价比不突出。
碳化硅衬底和外延片的制备成本高昂。生长高质量、低缺陷的碳化硅晶体难度大、耗时長,导致其成本远高于硅材料。若用如此昂贵的材料去制造技术成熟且成本极低的低压硅器件,从经济效益上看是难以接受的。
三、应用需求驱动
市场需求强烈倾向于将碳化硅MOSFET用于650V及以上的电压平台,因为这些领域能最大化发挥其性能优势:
新能源汽车:电动汽车的主驱逆变器、车载充电机(OBC) 和 DC-DC转换器 其电池工作电压普遍在400V至800V之间,甚至趋向更高(如800V架构)。650V及1200V的SiC MOSFET非常适合这些应用,能显著提升系统效率和功率密度。
工业与能源领域:光伏逆变器、储能系统(ESS)、不间断电源(UPS) 以及 工业电机驱动 通常需要600V乃至1200V以上的电压等级。SiC器件的高频、高效特性有助于降低系统体积、重量和冷却需求。
通信电源:数据中心和服务器的电源供应器追求高效和高功率密度,采用SiC MOSFET(例如在PFC电路中)是重要发展趋势。
这些高压应用领域愿意为SiC器件带来的系统级性能提升(如效率提高、体积缩小、散热简化)支付更高的初始成本,使得碳化硅技术在这些场景中具备了强大的商业化动力。
四、历史发展与技术成熟度
碳化硅功率器件的发展也遵循了一定的技术路线。产业界优先攻克的是能够最大化发挥其材料优势、并且替代难度相对较高的高压领域。
早期和当前的碳化硅MOSFET技术更多聚焦于解决中高压应用中的技术痛点,例如取代高压领域的IGBT。IGBT在高压下虽然导通压降低,但存在开关速度慢、开关损耗大的缺点。碳化硅MOSFET凭借其高频、低开关损耗的特性,能同时降低导通损耗和开关损耗,非常适合在这些场合替代IGBT。相比之下,低压领域(如<600V)已是硅基MOSFET和超结MOSFET(SJ-MOSFET)的成熟市场,碳化硅在此领域替代的经济和技术动力最初并不如高压领域强劲。
随着技术的进步和成本的下降,碳化硅MOSFET也开始逐渐渗透至稍低电压(如650V)但同样对效率和频率有高要求的应用,例如高端服务器电源、通信电源等,以取代超结MOSFET。即便如此,650V仍然是一个相对较高的电压等级。
五、未来趋势
技术的演进从未停止。随着材料生长技术(如降低衬底缺陷、改善外延质量)、器件结构创新(如沟槽栅结构、屏蔽栅结构)以及先进封装技术的进步,碳化硅器件的成本有望持续下降。
同时,氧化镓(Ga₂O₃) 等超宽禁带半导体材料也在研究之中,它们在某些方面可能具备比碳化硅更极致的特性。这些努力都可能在未来进一步拓宽碳化硅功率器件的应用边界。
总而言之,碳化硅MOSFET的电压等级之所以集中在650V以上,是其卓越的材料物理特性(高击穿电场强度)、现有的工艺技术与可靠性考量(栅氧可靠性挑战)、突出的市场需求与经济效益(在高压应用中最能发挥优势且成本效益显著)以及一定的历史发展路径共同作用和选择的结果。这并非意味着碳化硅不能用于低压场合,而是在当前的技术和经济条件下,聚焦中高压市场是发挥其价值最大化的理性选择。随着技术的不断发展和成本的进一步降低,我们未来可能会看到碳化硅器件向更广泛的电压领域拓展。